1. 项目挑战

客户为国内知名的 8英寸晶圆代工企业，在 PVD（物理气相沉积） 和 Etching（刻蚀） 的 Load Lock（进出料室）环节，原有的 油封机械泵 系统成为制约良率的瓶颈：

1. 油气返流污染：在真空度切换瞬间，微量油分子返流至工艺腔体，导致晶圆表面出现 微颗粒缺陷（Particle），直接影响芯片良率。
2. 震动影响精度：旧款泵组震动值较大（> 3.5mm/s），干扰了邻近精密机台的运作，导致光刻对准偏差。
3. 维护停机频繁：为维持洁净度，需高频更换特种氟油和滤芯，耗材成本高昂且占用宝贵的生产节拍。

2. 昊志解决方案

针对半导体行业对 “零污染” 和 “低震动” 的极致追求，我们采用了 EVS 系列永磁变频干式螺杆真空泵 替换原有系统，并配置了定制的减震底座。

工程师手记： “在晶圆制造中，真空泵不仅是动力源，更是洁净环境的守护者。EVS 泵的干式螺杆线型设计，确保了泵腔内无任何润滑油，从物理上切断了碳氢化合物污染源。同时，利用 EB-1 智能控制系统实现的软启动和变频调节，消除了气流冲击产生的扬尘风险。“

3. 核心数据对比

核心指标	原有油封系统	昊志 EVS 干式方案	优化幅度
晶圆微颗粒缺陷	~ 15 ea/wafer	< 2 ea/wafer	洁净度质变
Load Lock 良率	98.2%	99.9%	↑ 1.7%
设备震动值	3.8 mm/s	0.6 mm/s	精密级平稳
综合维护成本	高 (昂贵氟油)	极低 (仅齿轮油)	OPEX 大降

4. 客户评价

制程整合部（PIE）负责人表示：“这次改造解决了我们长期的心病。更换 EVS 干泵后，不仅 Defect 密度显著下降，良率趋于完美，而且设备运行极其安静。虽然前期投入高于油泵，但算上良率提升带来的价值和省下的氟油钱，性价比极高。”