行业概述

电子与半导体产业是中国高端制造的核心。无论是集成电路（IC）、光伏太阳能、光电显示（LCD/OLED），还是精密电子元器件的制造，真空技术都是不可或缺的“心脏”。

一个典型的半导体或电子工厂，其真空需求通常分为三大类。作为昊青气体装备技术（江苏）有限公司的销售服务中心，昊志机械设备（山东）有限公司深知这三种需求对泵的性能要求截然不同。我们不推荐“万金油”式的产品，而是为您提供精准匹配的国产化替代方案。

细分应用场景与解决方案

应用场景：这是对真空度要求最高的环节。主要用于创造洁净空间或降低沸点。例如：晶圆的蚀刻、气相沉积（PVD/CVD）、离子注入、单晶硅/多晶硅拉晶等。
技术挑战：制程中常伴有腐蚀性气体、有毒气体或大量粉尘工艺副产物，普通真空泵极易卡死或腐蚀。
昊青专家方案：
- 干式螺杆真空泵：我们的干泵采用独特的螺杆型线设计，泵腔内无油无水，避免了对工艺腔室的反向污染。
- 防腐与温控：针对腐蚀性工况，我们对过流部件进行特殊的防腐涂层处理，并配置精准的温控系统，防止副产物在泵内冷凝结垢。
- 机组联动：针对大抽速需求，我们提供干式螺杆泵+罗茨泵的组合机组，性能完全对标爱德华、莱宝等进口品牌，但维护成本大幅降低。

应用场景：这是电子厂用量最大、最容易被忽视的能耗大户。利用负压吸附进行晶圆传输、芯片封装（Pick & Place）、电路板固定、丝网印刷夹持等。真空度通常在 -600mbar 到 -900mbar 之间。
传统痛点：许多工厂早期使用水环泵或多台独立旋片泵。水环泵耗水量大且需处理废水；独立旋片泵维护繁琐，导致车间空调负荷增加。
昊青专家方案：
- 油封螺杆真空泵：我们强烈推荐在工艺真空环节使用油封螺杆泵。相比旋片泵，它更耐用；相比水环泵，它无需水循环，能效比更高。
- 中央真空系统：对于拥有数十台甚至上百台贴片机、固晶机的车间，我们提供中央真空系统改造。通过变频控制，根据产线实际用气量自动调节泵的转速。相比独立泵站，节能率通常可达30%以上，且便于统一管理。

应用场景：利用压差进行液体或颗粒清除。如车间地面的吸尘、设备废液的抽吸清除。
昊青专家方案：针对此类真空度要求低（-500mbar以下）但流量要求大的场景，我们建议配置高压风机或专用的液环机组。关键在于系统隔离——我们将清扫真空与高洁净的生产真空严格物理隔离，确保生产安全。

在半导体设备国产化的大潮中，您不再需要单纯依赖昂贵的进口品牌。昊青气体装备技术（江苏）有限公司拥有深厚的制造底蕴，我们的螺杆泵技术在性能参数上已完全满足国内大厂的制程要求。

我们不仅卖泵，更卖服务。

制造基地（江苏）：确保存货充足，标准机型现货供应，解决进口泵交期长达数月的问题。
销售服务中心（山东）：昊志机械设备（山东）有限公司作为直属销售中心，不仅覆盖山东及周边市场，更辐射全国。我们懂工艺、懂选型，为您提供从现场工况勘测、真空系统设计到售后维保的一站式服务。

专家建议：如果您的工厂还在使用大量独立的小型旋片泵，或者受困于水环泵的高能耗与废水排放，请立即联系我们。我们可以为您做一份详细的《能耗对比分析报告》，用数据证明中央真空系统的投资回报周期（ROI）。