行业概述
平板显示(FPD)行业是中国制造的名片之一。无论是液晶显示(LCD)、有机发光二极管(OLED)还是触摸屏模组的生产,都离不开高质量的真空环境。
作为昊青气体装备技术(江苏)有限公司的销售服务中心,昊志机械设备(山东)有限公司深知面板厂对“良率”和“稼动率”的极致追求。我们不只卖泵,我们为您提供更稳定的吸附搬运方案和更高性价比的制程抽气系统。
核心应用场景与解决方案
1. 玻璃基板搬运与吸附(工艺真空)
这是面板厂真空用量最大的环节。
- 应用场景:在清洗、镀膜、曝光、蚀刻等工序之间,巨大的玻璃基板(G8.5代线以上)需要通过真空吸盘(机器人手臂)进行高速传输。
- 痛点:
- 传统的真空发生器耗气量大,噪音刺耳。
- 分散式的小型旋片泵排气有油烟,且多台设备同时启动时,管网压力波动可能导致吸盘吸力不足,造成**“掉片”**(玻璃摔碎),这对面板厂来说是重大生产事故。
- 昊青专家方案:中央真空系统(Central Vacuum System)
- 我们将多台大抽速的油封螺杆泵或干式螺杆泵集中在泵房,通过恒压变频控制技术,向产线提供极其稳定的-60kpa ~ -80kpa真空源。
- 优势:无论产线上的机械手如何动作,主管路压力始终恒定,确保抓取稳如泰山。同时,相比分散式供气,节能率高达40%以上。
2. 真空成膜与腔体抽气(生产真空)
- 应用场景:磁控溅射(Sputtering)、蒸镀(Evaporation)、CVD等工艺,需要将反应腔体快速抽至高真空状态。
- 昊青专家方案:干式螺杆真空泵 + 罗茨泵机组
- 我们在江苏工厂制造的干式螺杆泵,采用先进的螺杆型线设计,能迅速抽出腔体内的空气和水汽。
- 配合大抽速罗茨泵,我们在缩短**生产节拍(抽气时间)**方面表现优异,帮助客户提升每小时产出(UPH)。
- 洁净无油:完全避免了油气返流污染昂贵的面板基板。
3. 贴合与脱泡
- 应用场景:在触摸屏与显示屏的全贴合(OCA/OCR)工艺中,需要真空环境来消除胶层中的气泡。
- 昊青专家方案:针对此类工艺可能产生的胶水挥发物,我们提供耐受性更强的螺杆泵,并配置专门的过滤系统,防止泵体卡死,保障良率。
为什么选择昊青与昊志?
国产替代,降本增效的必然选择
面板行业竞争激烈,控制成本是核心命题。进口品牌(如爱德华、莱宝)虽然性能好,但备件价格昂贵,交期动辄数月。 昊青依托江苏制造基地的强大实力,我们的干式螺杆泵和罗茨泵在性能参数上已完全对标国际一线品牌,但采购成本和后期维护成本大幅降低。
山东+江苏:服务就在您身边
- 昊志机械设备(山东)有限公司作为销售中心,我们更贴近中国北方的面板产业集群。
- 极速响应:面板厂一刻也不能停。相比外企繁琐的流程,我们能提供更灵活的现场技术支持和备件供应服务。
- 定制化改造:我们可以派技术团队到您现场,对老旧的高能耗真空系统进行节能诊断和改造设计。
专家建议:如果您的厂务系统还在使用大量高能耗的真空发生器,或者受困于老旧水环泵的维修问题,请联系我们。一套优化的中央真空系统,往往在一年内就能通过省下的电费收回投资成本。